原子掺杂优化(原子级氟掺杂助力IGZO晶体管可靠性突破VLSI 2024上的关键成果解读)
记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。摘要本文介绍了VLSI Symposium 2025上发布的一项关键技术突破,通过原子级氟掺杂提升IGZO晶体管在高温下的可靠性,实现395K、4MV/cm下ΔVTH小于44m...
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